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產品簡介
PSM系列室溫手動探針臺是一款高品質的探針臺能夠對2寸、4寸、6寸、8寸晶圓片進行大量非破壞性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備，可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量。科學的桌面設計是學術和實驗研究的選擇。
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室溫手動探針臺的主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，外接不同的測量儀器，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測，用于室溫下的芯片、晶圓和器件的非破壞性測試。
PSM系列室溫手動探針臺是一款高品質的探針臺能夠對2寸、4寸、6寸、8寸晶圓片進行大量非破壞性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備，可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量。科學的桌面設計是學術和實驗研究的選擇。
特點
• 穩定的雙位移調節系統，可以調節樣品座和探針臂的位移。
• 樣品座可以放置8英寸的晶圓樣品，采用多孔分區控制氣體吸附固定。
• 移動樣品座下面的滑臺，可以實現X-Y軸±100mm的移動行程，使得樣品測試和換樣更加便捷。滑臺采用磁力吸附固定。
• 可安裝6個探針臂。
• 探針臂采用磁鐵吸附，可任意移動，并且可以三維微調，操作方便，扎針精準，四個探針臂的探針可以扎到樣品的任意位置。
• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電流小，在100fA以內。
• CCD放大倍數為180倍，工作距離為100mm。
型號分類：
| 型號 | PSM-2 | PSM-4 | PSM-6 | PSM-8 |
| 樣品座尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 |
參數和指標：
| 樣品座 | |
| 卡盤尺寸： | 2/4/6/8英寸，可定制 |
| 材質： | 無氧銅鍍金 |
| 樣品固定方式： | 多孔分區吸附有外圈、內圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道 |
| 滑臺 | |
| X-Y移動行程： | 2/4寸: X-Y軸±50mm；6/8寸: X-Y軸 ±100mm |
| 讀數精度： | 10μm |
| 探針臂 | |
| 固定方式： | 磁鐵吸附 |
| XYZ微調移動行程： | XYZ-13mm |
| 微調可分辨精度： | 10μm |
| 探針臂數量： | 可安裝6個探針臂（左右各3個） |
| 電學線纜： | 三同軸線纜 |
| 漏電流： | 100fA |
| 探針類型： | 直流探針 |
| 光學系統 | |
| 顯微鏡放大倍數： | 10-180倍 |
| 顯微鏡工作距離： | 90-100mm |
| 顯微鏡分辨率： | 3μm（可選1μm） |
| 光源類型： | 兼配同軸和環形光源 |
| 可加選件 | |
| 光學平臺/直流探針/微波探針/樣品座/屏蔽箱/光纖 | |
公司郵箱： qgao@buybm.com
服務熱線： 021-61052039
公司地址： 上海市浦東新區疊橋路456弄創研智造C7區五樓
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